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admin 6 2025-09-02 14:48:07

fib聚焦离子束

聚焦离子束(Focused Ion Beam,简称 FIB)技术是一种前沿的纳米级加工与分析手段。基本原理聚焦离子束显微镜系统的核心在于其离子束产生与调控机制。液态金属离子源稳定地产生高密度的离子束,这些离子束在离子枪的作用下被加速,并经过一系列精密的聚焦系统,最终汇聚成极细的束斑,精准地照射到样品表面。

聚焦离子束(Focused Ion Beam,FIB)技术是一种在纳米尺度上进行加工、分析与成像的先进技术。它凭借高度集中的离子束,在微观世界中扮演着纳米“雕刻师”的角色,广泛应用于材料科学、微电子、纳米制造等多个前沿领域。

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聚焦离子束一电子束(FIB-SEM)双束系统是一种集成了聚焦离子束(FIB)系统和扫描电子显微镜(SEM)系统的高精尖设备。该系统结合了两种技术的优点,实现了在纳米尺度上的精确加工和观测。系统结构 聚焦离子束一电子束双束系统的核心部分包括离子柱和电子束柱。

聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)结合了聚焦离子束技术(FIB)和扫描电镜(SEM)的优势,实现了对材料的高精度加工和实时观测。在FIB-SEM制样过程中,通过聚焦离子束对样品进行精确切割、减薄等处理,以满足后续分析或测试的需求。

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